美国 Parker 派克 8 GVGR-SSLP Parker Veriflo 保留沟槽式垫片
美国 Parker 派克 8 GVGR-SSLP Parker Veriflo 保留沟槽式垫片
Parker VacuSeal 面密封接头设计用于超高纯度气体分配系统。这些配件具有出色的可靠性和泄漏完整性，是清洁度至关重要的半导体制造应用的理想选择。VacuSeal 金属垫片端面密封接头具有极高的泄漏完整性，使其适用于需要超高纯度条件的关键应用，例如半导体工具连接器，阀歧管盒（VMB）和气体分配系统。配件具有配合垫圈和环形设计，可形成金属对金属的密封，并提供从9000 psig的真空无泄漏的服务。
VacuSeal 接头的尺寸从1/8到1英寸不等，并提供多种阀体和压盖配置。它们在Veriflo专有的Vericlean 低硫316L不锈钢制成的100级无尘室中制造。标准的5 Ra电抛光润湿表面光洁度可减少截留面积，同时具有出色的耐腐蚀性。压盖可用高纯度镍和HastelloyC-22 制成，以确保在腐蚀性极强的应用中的性能和可靠性。
VacuSeal 配件设计用于与平面和Verfilo的TorqTite自对准端面密封垫片一起使用，该垫片无需安装工具，并消除了因热循环和振动而导致的零件松动。TorqTite 还可以确保密封，即使在损坏的环形表面上也是如此，并允许施加极高的扭矩而不会损坏密封表面。这与VacuSeal 配件的超高纯度结构材料相结合，可最大程度地减少颗粒的产生，并确保在清洁度至关重要的晶圆制造过程中的泄漏完整性。
派克 Veriflo VacuSeal 接头组件，用于 1/2 英寸接头的保留凹槽式垫圈，少镀银 316L 不锈钢，0.43 英寸内径 x 0.79 英寸外径 x 0.06 英寸厚垫片。