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美国 MKS 绝对压力控制器 640B-29652 现货原装
  • 美国 MKS 绝对压力控制器 640B-29652 现货原装

  • 美国 MKS 绝对压力控制器 640B-29652 现货原装

    640B 绝对压力控制器是一个独立的、紧凑的闭环电子压力控制系统,包含一个 Baratron® 电容压力计、常闭比例控制阀和闭环控制电子设备。640B 在电气方面类似于标准 MFC,由 ±15 VDC 供电,电流仅为 200 mA,允许与标准电源和显示电子设备一起使用。压力输出和输入控制信号为线性 0-5 或 0-10 VDC。两个带 LED 状态指示灯的跳变点用作简单的开/关过程限制。

     

    • 集成 Baratron® 电容压力计技术
    • 低压过程的满量程范围低至 10 Torr
    • 可与上游或下游控制器应用程序一起使用
    • 用于过程限制控制的两个报警触发点
    • 类型
      640B 绝压控制器
       
    • 压力范围
      10、100、1000 mmHg(托)、60、100 psi(满量程)
       
    • 配件类型
      4 VCR、8 VCR、0.25 英寸管或表面贴装
       
    • 流速
      50、200、1000、5000、10000、20000、50000 sccm(N2 的标称满量程流速,入口压力为 15 psig,出口压力为大气压)
       
    • 跳闸点
      两个集电极开路晶体管
      额定值:250 mA @ 30 VDC
      可调:满量程的 1 至 100%
      迟滞:满量程的 3%
      指示器:启动时绿色 LED 亮起
       
    • 压力控制精度
      满量程的 ±0.2%
       
    • 传感器超压限制
      45 psia 或 2x 满量程,以较大者为准
       
    • 最大压差
      20,000 和 50,000 sccm 孔口为 30
      psi 50 至 10,000 sccm 孔口为 150 psi
      (与传感器超压限制一致)
       
    • 控制方式
      下游标准;上游可选
       
    • 压力测量精度
      读数的 ±0.5%(包括线性度、迟滞和可重复性)
       
    • 零温度系数
      零位:满刻度的 ±0.02%/°C
       
    • 跨度温度系数
      跨度:读数的 ±0.04%/°C
       
    • 控制范围
      >2 到 100% 的满量程
       
    • 典型响应时间
      <1.0 秒(不包括系统时间常数)
    • 工作温度
      0 - 50°C(32° 至 122°F)
       
    • 储存温度
      -20 至 80°C(-4° 至 176°F)
       
    • 外部泄漏完整性
      <10 -9 scc/秒 He
       
    • 通过关闭的阀门泄漏完整性
      弹性体阀:<10 -4 scc/sec He
      金属阀:<1% 满量程 (N2 @ 1 atm. ΔP)
      Kel-F 阀:<0.5% 满量程 (N2 @ 1 atm. ΔP)
      (通过关闭阀门)*
       
    • 接液材料
      标准:316L SS、316L/VAR SS、铬镍铁合金、镍
      可选:Viton®、Kalrez®、Kel-F®
       
    • 所需电源
      ±15 VDC ±5%,最大 200 mA
       
    • 连接器接口
      15 针公头“D”型
       
    • 仪表响应时间
      <100 毫秒
       
    • 射频干扰灵敏度
      SAMA 33.1,1-abc:<满量程的 0.2%
       
    • 输入输出信号
      0-5 VDC 标准;0-10 VDC 可选
       
    • 电缆长度
      最大 100 英尺 (30 m)
       
    • 重量
      2.54 磅。(1.15 公斤)
       
    • 方面
      1.5 英寸(38.1 毫米)x 4.88 英寸(124 毫米)(4 VCR)x 5.50 英寸(140 毫米)最大
       
    • 遵守
      CE认证
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