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美国 MKS 化学下游等离子源 AX7610RPN1-Q

  • 美国 MKS 化学下游等离子源 AX7610RPN1-Q

  • 美国 MKS 化学下游等离子源 AX7610RPN1-Q

    AX7610 是用于远程等离子体应用的微波等离子体源。AX7610 下游源具有可更换的石英或蓝宝石等离子管，可提供配置灵活性以满足最苛刻的应用工艺参数。石英管版本非常适合生产原子氧、氮或氩。蓝宝石管版本与更严格的 CF 4 CHF 3和 NF 3 化学物质兼容。

     

    • 用于氟和非氟化学品的蓝宝石或石英放电管
    • 具有高功率和吞吐量的专利传导冷却设计
    • 易于集成
    • 适用范围广
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