在气体面板、气体柜和晶圆加工需要超纯气体的任何地方进行卓越的微粒过滤。
- 紧凑的装置减少了气箱的整体占地面积，节省了宝贵的设备空间
- PTFE膜提供高效过滤，提高产品产量
- 低压降降低了低蒸气压气体冷凝的风险
- 与所有类别的半导体工艺气体具有出色的相容性
- 用于惰性和活性气体，包括臭氧
- 臭氧应用（气体）
- 煤气柜
- 超纯气体系统
- 阀组箱
- 煤气板
| 材料 |
滤芯 |
由模制 PFA 结构支撑的疏水性 PTFE 膜 |
| 住房 |
电抛光 316L 不锈钢 |
| 下游清洁度 |
粒子 |
<0.03 个颗粒/升（<1 个颗粒/ft 3) >0.01µm |
| 挥发物 |
<10 ppb 水分 |
| 移除等级 |
0.0015 微米 |
|
| 表面处理内饰 |
≤10 微英寸 Ra |
|
| 氦泄漏等级 |
合格的 |
2 × 10 -10 atm/cc-sec |
| 已测试 |
1 × 10 -9 atm/cc-sec |
| 浓度分辨率 |
±0.015 ppm |
| 运行条件 |
最大入口压力： |
20.7 兆帕（207 巴；3000 磅/平方英寸）@ 23°C (73°F) |
| 最大正向压差： |
0.4 MPa（4 巴；60 psid）@ 23°C（73°F） |
| 最大压差： |
0.07 兆帕（0.7 巴；10 磅/平方英寸）@ 23°C (73°F) |
| 最高工作温度： |
120°C (248°F) |
| 颗粒保留 |
大于 99.9999999% (9 LRV) 去除所有颗粒 @ 100 slpm（以最具穿透性的颗粒尺寸为参考） |
| 流量等级 |
参考性能数据 |