品牌/系列：Entegris / Wafergard® SL
接口类型：1.125" C-Seal 表面贴装接口
过滤介质：全金属烧结镍（Nickel）或不锈钢（Stainless Steel）薄膜
颗粒截留率：>99.9999999% @ 0.003 µm
最大入口压力：34.5 bar (500 psig) @ 20°C
最大工作温度：惰性气体环境下最高可达 400°C (752°F)
氦气泄漏率：经测试最大为 1 x 10⁻⁹ Pa·m³/sec
重量信息：单体约 0.4-0.6 kg（含包装，依批次略有差异）
行业背景与核心定位
在半导体制造、平板显示和光伏产业中，制程气体的纯度直接决定了晶圆的良率。Entegris WGSLSFC1H 作为 Wafergard® SL 系列的核心型号，专为超高纯（UHP）气体分配系统设计。它采用表面贴装（Surface Mount）设计，符合 1.125" C-Seal 工业标准，这种紧凑化的结构相比传统的管路连接（In-line）能显著减少气体面板的占用空间，简化了系统集成难度。
卓越性能与技术参数解析
极端过滤效率：该产品能在极高的流量下保持对 0.003 微米颗粒的极致拦截。在纳米级制程中，即便是一个微小的金属颗粒也会造成电路短路，而 WGSLSFC1H 提供的 99.9999999%（9个9）过滤保障，是行业公认的最高安全等级。
材质兼容性与抗腐蚀性：其滤芯采用专利烧结技术，提供镍质或 316L 不锈钢材质选项。这使得过滤器在处理高腐蚀性气体（如 HCl、Cl₂）或高活性氢化物气体时，具有极佳的化学稳定性，避免了二次污染。
超净制造工艺：所有过滤器均在百级无尘室中进行组装、测试并使用双层真空包装。出厂前经过严格的脱气处理和烘烤，确保在安装后能迅速达到系统真空度要求，缩短初次启动时间。
1.125" C-Seal/W-Seal 表面贴装系列：
WGSLSFC1H, WGSLSFC1M, WGSLSFCSM, WGSLSFCPH, WGSLSFCN1, WGSLSFCN2, WGSLNFC1H, WGSLNFC1M, WGSLNFCSM, WGSLNFCPH, WGSLNFCN1, WGSLSFW1H, WGSLSFW1M, WGSLSFWPH, WGSLNFW1H, WGSLNFW1M, WGSLNFWPH, WGSLSFC1K, WGSLSFC2H, WGSLSFC2M, WGSLSFC3H, WGSLSFC4H, WGSLNFC2H, WGSLNFC3H, WGSLSFW2H, WGSLSFW3H, WGSLNFW2H, WGSLNFW3H, WGSLSFC5H, WGSLSFC6H, WGSLNFC5H, WGSLSFW5H, WGSLNFW5H... (共50个)
In-Line 管路式高纯系列：
WGMFS6RR1, WGMFS6VV1, WGMFS4RR1, WGMFS4VV1, WGMFN6RR1, WGMFN6VV1, WGMFN4RR1, WGMFN4VV1, WGNFS6RR1, WGNFS6VV1, WGNFS4RR1, WGNFS4VV1, WGNFN6RR1, WGNFN6VV1, WGMINS4RR, WGMINS4VV, WGMINS6RR, WGMINN4RR, WGMINN4VV, WGMINN6RR, WGMAXS4RR, WGMAXS4VV, WGMAXS6RR, WGMAXN4RR, WGMAXN4VV, WGMAXN6RR, WGMAFS4RR, WGMAFS4VV, WGMAFS6RR, WGMAFN4RR, WGMAFN4VV, WGMAFN6RR... (共50个)
PTFE 介质系列与微型系列：
WGPFS6RR1, WGPFS6VV1, WGPFS4RR1, WGPFS4VV1, WGMAXS4RR, WGMAXS4VV, WGMAXS6RR, WGMAXS6VV, WGMAXS8RR, WGMAXS8VV, WGSGFM1RR, WGSGFM1VV, WGSGFM2RR, WGSGFM2VV, WGSGFM4RR, WGSGFM4VV, WGSGFA1RR, WGSGFA1VV, WGSGFA2RR, WGSGFA2VV, WGSGFA4RR, WGSGFA4VV, WGSGFP1RR, WGSGFP1VV, WGSGFP2RR, WGSGFP2VV, WGSGFP4RR, WGSGFP4VV, WGSGFL1RR, WGSGFL1VV, WGSGFL2RR, WGSGFL2VV... (共50个)
大流量及特殊接口系列：
WGLFS4RR1, WGLFS4VV1, WGLFS6RR1, WGLFS6VV1, WGLFN4RR1, WGLFN4VV1, WGLFN6RR1, WGLFN6VV1, WGXFS4RR1, WGXFS4VV1, WGXFS6RR1, WGXFS6VV1, WGXFN4RR1, WGXFN4VV1, WGXFN6RR1, WGXFN6VV1, WGZFS4RR1, WGZFS4VV1, WGZFS6RR1, WGZFS6VV1, WGZFN4RR1, WGZFN4VV1, WGZFN6RR1, WGZFN6VV1, WGVFS4RR1, WGVFS4VV1, WGVFN4RR1, WGVFN4VV1... (共50个)