品牌：Entegris（英特格）
系列：Chambergard (CE) 系列
完整型号：CE-500-KF-I-4-D
接口类型：KF25 (KF)
过滤精度：0.003 μm（纳米级超高精度）
额定流量：500 SLPM（标准升/分钟）
壳体材质：316L 不锈钢（电解抛光）
滤芯材质：聚四氟乙烯 (PTFE) 或 镍 (Nickel)
最高工作压力：0.9 MPa
工作温度：最高可达 120°C
泄漏率：1 x 10^-9 atm cc/sec
Entegris（英特格）CE-500-KF-I-4-D 属于全球知名的 Chambergard 系列扩散器与过滤器组合，是专为半导体、平板显示器以及光伏制造工艺设计的核心净化组件。在晶圆加工环境及真空腔室工艺中，该产品扮演着拦截微小颗粒的关键角色，能有效防止颗粒污染对精密生产流程造成的负面影响。
卓越的净化性能
该过滤器核心采用特种材料滤芯，具备高达 0.003 微米的过滤精度。这意味着它能够捕获极其细微的工艺悬浮颗粒，确保进入反应腔室的气体达到超高纯度标准。其内部流道经过精密计算与电解抛光处理，在保证大流量（500 SLPM）通过的同时，将压力损失控制在较低水平，从而提升了整体系统的能源效率和工艺稳定性。
严苛的材质选择与工艺
壳体由高等级 316L 不锈钢精制而成，具备极强的化学兼容性和耐腐蚀性。针对半导体行业对金属离子的极低容忍度，Entegris 在制造过程中执行了严格的清洗与封装标准。KF25 接口设计使得该过滤器能够方便地集成到现有的真空管路中，且具备极高的密封可靠性，泄漏率远低于行业平均标准，有效保护了真空系统的完整性。
行业应用价值
在 CVD（化学气相沉积）或 Etch（刻蚀）工艺中，反应气体的纯净度直接关系到晶圆的良率。CE-500-KF-I-4-D 能够平衡大流量与超细过滤之间的矛盾，尤其在腔室泄压或充气阶段，它能缓冲气流冲击，平稳引入洁净气体，减少气流紊乱带起的二次粉尘。这种性能表现使其成为国际一线半导体机台厂及先进逻辑/存储芯片工厂的首选。
可靠性与长寿命设计
得益于 Entegris 先进的制造工艺，该过滤器具有极长的使用寿命和极低的维护频率。其坚固的结构设计使其能够承受频繁的热循环与压力冲击而不会产生结构性疲劳，为用户降低了长期运营成本并减少了停机时间。
CE-200-KF-I-4-D,CE-300-KF-I-4-D,CE-1000-KF-I-4-D,CE-500-VCR-I-4-D,CE-500-NW-I-4-D,CE-200-VCR-I-4-D,CE-1000-VCR-I-4-D,CE-500-KF-I-2-D,CE-500-KF-I-6-D,CE-500-KF-M-4-D,CE-500-KF-N-4-D,CE-500-KF-P-4-D,CE-200-NW-I-2-C,CE-300-NW-I-4-C,CE-500-NW-I-6-C,CE-1000-NW-I-8-C,WGCP-01-KF-25,WGCP-02-KF-25,WGCP-01-VCR-4,WGCP-02-VCR-8,WGLP-400-4-VCR,WGLP-800-8-VCR,WGLP-1000-KF-25,WGLP-2000-KF-40,WGEP-100-4-VCR,WGEP-200-8-VCR,WGSP-01-VCR-4,WGSP-02-VCR-8,WGVP-01-KF-25,WGVP-02-KF-40,SS-100-VCR-4,SS-200-VCR-8,SS-500-KF-25,SS-1000-KF-40,NI-100-VCR-4,NI-200-VCR-8,NI-500-KF-25,NI-1000-KF-40,TE-100-VCR-4,TE-200-VCR-8,TE-500-KF-25,TE-1000-KF-40,CE-100-KF-I-2-B,CE-150-KF-I-4-B,CE-250-KF-I-4-C,CE-350-KF-I-6-C,CE-450-KF-I-8-D,CE-550-KF-I-4-D,CE-650-KF-I-6-D,CE-750-KF-I-8-D,CE-850-KF-I-10-D,CE-950-KF-I-12-D,CE-1100-KF-I-4-E,CE-1200-KF-I-6-E,CE-1300-KF-I-8-E,CE-1400-KF-I-10-E,CE-1500-KF-I-12-E,CE-100-VCR-M-2-A,CE-200-VCR-M-4-A,CE-300-VCR-M-6-A,CE-400-VCR-M-8-A,CE-500-VCR-M-10-A,CE-600-VCR-M-4-B,CE-700-VCR-M-6-B,CE-800-VCR-M-8-B,CE-900-VCR-M-10-B,CE-1000-VCR-M-12-B,CE-200-NW-P-2-A,CE-300-NW-P-4-A,CE-400-NW-P-6-A,CE-500-NW-P-8-A,CE-600-NW-P-10-A,CE-700-NW-P-4-B,CE-800-NW-P-6-B,CE-900-NW-P-8-B,CE-1000-NW-P-10-B,CE-1100-NW-P-12-B,CE-100-KF-N-2-A,CE-200-KF-N-4-A,CE-300-KF-N-6-A,CE-400-KF-N-8-A,CE-500-KF-N-10-A,CE-600-KF-N-4-B,CE-700-KF-N-6-B,CE-800-KF-N-8-B,CE-900-KF-N-10-B,CE-1000-KF-N-12-B,CE-200-VCR-I-2-A,CE-300-VCR-I-4-A,CE-400-VCR-I-6-A,CE-500-VCR-I-8-A,CE-600-VCR-I-10-A,CE-700-VCR-I-4-B,CE-800-VCR-I-6-B,CE-900-VCR-I-8-B,CE-1000-VCR-I-10-B,CE-1100-VCR-I-12-B,CE-100-NW-M-2-A,CE-200-NW-M-4-A,CE-300-NW-M-6-A,CE-400-NW-M-8-A,CE-500-NW-M-10-A,CE-600-NW-M-4-B,CE-700-NW-M-6-B,CE-800-NW-M-8-B,CE-900-NW-M-10-B,CE-1000-NW-M-12-B,CE-200-KF-P-2-A,CE-300-KF-P-4-A,CE-400-KF-P-6-A,CE-500-KF-P-8-A,CE-600-KF-P-10-A,CE-700-KF-P-4-B,CE-800-KF-P-6-B,CE-900-KF-P-8-B,CE-1000-KF-P-10-B,CE-1100-KF-P-12-B,CE-100-VCR-N-2-A,CE-200-VCR-N-4-A,CE-300-VCR-N-6-A,CE-400-VCR-N-8-A,CE-500-VCR-N-10-A,CE-600-VCR-N-4-B,CE-700-VCR-N-6-B,CE-800-VCR-N-8-B,CE-900-VCR-N-10-B,CE-1000-VCR-N-12-B,CE-200-NW-I-2-E,CE-300-NW-I-4-E,CE-400-NW-I-6-E,CE-500-NW-I-8-E,CE-600-NW-I-10-E,CE-700-NW-I-4-F,CE-800-NW-I-6-F,CE-900-NW-I-8-F,CE-1000-NW-I-10-F,CE-1100-NW-I-12-F,CE-200-KF-M-2-E,CE-300-KF-M-4-E,CE-400-KF-M-6-E,CE-500-KF-M-8-E,CE-600-KF-M-10-E,CE-700-KF-M-4-F,CE-800-KF-M-6-F,CE-900-KF-M-8-F,CE-1000-KF-M-10-F,CE-1100-KF-M-12-F,CE-200-VCR-P-2-E,CE-300-VCR-P-4-E,CE-400-VCR-P-6-E,CE-500-VCR-P-8-E,CE-600-VCR-P-10-E,CE-700-VCR-P-4-F,CE-800-VCR-P-6-F,CE-900-VCR-P-8-F,CE-1000-VCR-P-10-F,CE-1100-VCR-P-12-F,CE-200-NW-N-2-E,CE-300-NW-N-4-E,CE-400-NW-N-6-E,CE-500-NW-N-8-E,CE-600-NW-N-10-E,CE-700-NW-N-4-F,CE-800-NW-N-6-F,CE-900-NW-N-8-F,CE-1000-NW-N-10-F,CE-1100-NW-N-12-F,CE-200-KF-I-2-H,CE-300-KF-I-4-H,CE-400-KF-I-6-H,CE-500-KF-I-8-H,CE-600-KF-I-10-H,CE-700-KF-I-4-J,CE-800-KF-I-6-J,CE-900-KF-I-8-J,CE-1000-KF-I-10-J,CE-1100-KF-I-12-J,CE-200-VCR-M-2-H,CE-300-VCR-M-4-H,CE-400-VCR-M-6-H,CE-500-VCR-M-8-H,CE-600-VCR-M-10-H,CE-700-VCR-M-4-J,CE-800-VCR-M-6-J,CE-900-VCR-M-8-J,CE-1000-VCR-M-10-J,CE-1100-VCR-M-12-J,CE-200-NW-P-2-H,CE-300-NW-P-4-H,CE-400-NW-P-6-H,CE-500-NW-P-8-H,CE-600-NW-P-10-H,CE-700-NW-P-4-J,CE-800-NW-P-6-J,CE-900-NW-P-8-J,CE-1000-NW-P-10-J,CE-1100-NW-P-12-J