品牌：Entegris (英特格)
型号：SVTH01TQ1
产品系列：Torrento® T-Line
滤膜材质：聚四氟乙烯 (PTFE)
支撑/外壳材质：PFA (全氟烷氧基树脂)
过滤精度：10 nm (纳米级)
接口规格：1" Pillar® Super 300 接口
最大工作温度：180°C (356°F)
最大工作压力：0.39 MPa @ 25°C
重量：约 1.2kg
适用流体：硫酸、双氧水、氢氧化铵、去离子水及各种高纯化学试剂。
Entegris SVTH01TQ1 属于享誉半导体行业的 Torrento® 系列高效过滤器，是专为尖端制程中的湿法清洗（Wet Cleaning）及蚀刻（Etching）工艺量身打造的过滤解决方案。随着半导体节点向 7nm、5nm 甚至更先进制程演进，化学品中的微小颗粒污染物已成为影响晶圆良率的关键因素，SVTH01TQ1 正是应对这一挑战的核心组件。
技术性能深度解析：
该过滤器采用全氟化结构设计，其滤膜由高纯度 PTFE（聚四氟乙烯）制成，外壳及支撑结构则采用 PFA 材质。这种全氟代材料组合赋予了 SVTH01TQ1 卓越的化学兼容性，能够长期稳定运行在极具腐蚀性的酸性或碱性环境中，如 SPM（硫酸过氧化氢混合液）、SC1、SC2 等清洗液。其 10nm 的超高过滤精度，能够有效截留流体中的超细微颗粒，确保进入工艺槽的化学品达到极高的洁净度标准。
行业应用优势：
极低的萃取物水平：Entegris 采用严苛的制造工艺和预清洗流程，确保过滤器在使用初期即可达到极低的离子释放水平，缩短了设备的预冲洗时间，提高了生产效率。
耐高温设计：SVTH01TQ1 能够在高达 180°C 的高温化学品中保持结构完整性和过滤效率，这在高温蚀刻工艺中至关重要。
大流量与低压降：优化的滤芯褶皱结构设计，在保证纳米级拦截效率的同时，提供了理想的流量特性，减少了系统泵送系统的负担。
高可靠性接口：配备的 1" Pillar® Super 300 接口确保了在复杂管路系统中的连接安全性，有效防止化学品渗漏风险。
行业推荐理由：
在半导体前道工序（FEOL）中，SVTH01TQ1 是保证晶圆表面洁净度的重要屏障。其优异的非脱落特性和机械强度，使其在频繁的压力波动下依然能维持稳定的过滤性能。对于追求极致良率和设备稳定性的半导体厂商而言，该型号是替代传统过滤器的理想之选。
SVTH01TQ1 SVTH01TQ2 SVTH01TQ3 SVTH01TQ4 SVTH01TQ5 SVTH01TQ6 SVTH02TQ1 SVTH02TQ2 SVTH02TQ3 SVTH02TQ4 SVTH02TQ5 SVTH02TQ6 SVTH03TQ1 SVTH03TQ2 SVTH03TQ3 SVTH03TQ4 SVTH03TQ5 SVTH03TQ6 SVTH11TQ1 SVTH11TQ2 SVTH11TQ3 SVTH11TQ4 SVTH11TQ5 SVTH11TQ6 SVTH12TQ1 SVTH12TQ2 SVTH12TQ3 SVTH12TQ4 SVTH12TQ5 SVTH12TQ6 SVTH21TQ1 SVTH21TQ2 SVTH21TQ3 SVTH21TQ4 SVTH21TQ5 SVTH21TQ6 SVTH22TQ1 SVTH22TQ2 SVTH22TQ3 SVTH22TQ4 SVTH22TQ5 SVTH22TQ6 SVTH31TQ1 SVTH31TQ2 SVTH31TQ3 SVTH31TQ4 SVTH31TQ5 SVTH31TQ6 SVTH32TQ1 SVTH32TQ2 SVTH32TQ3 SVTH32TQ4 SVTH32TQ5 SVTH32TQ6 SVTL01TQ1 SVTL01TQ2 SVTL01TQ3 SVTL01TQ4 SVTL01TQ5 SVTL01TQ6 SVTL02TQ1 SVTL02TQ2 SVTL02TQ3 SVTL02TQ4 SVTL02TQ5 SVTL02TQ6 SVTL11TQ1 SVTL11TQ2 SVTL11TQ3 SVTL11TQ4 SVTL11TQ5 SVTL11TQ6 SVTL12TQ1 SVTL12TQ2 SVTL12TQ3 SVTL12TQ4 SVTL12TQ5 SVTL12TQ6 SVTM01TQ1 SVTM01TQ2 SVTM01TQ3 SVTM01TQ4 SVTM01TQ5 SVTM01TQ6 SVTM02TQ1 SVTM02TQ2 SVTM02TQ3 SVTM02TQ4 SVTM02TQ5 SVTM02TQ6 SVTM11TQ1 SVTM11TQ2 SVTM11TQ3 SVTM11TQ4 SVTM11TQ5 SVTM11TQ6 SVTM12TQ1 SVTM12TQ2 SVTM12TQ3 SVTM12TQ4 SVTM12TQ5 SVTM12TQ6 SVTH01MQ1 SVTH01MQ2 SVTH01MQ3 SVTH02MQ1 SVTH02MQ2 SVTH02MQ3 SVTH11MQ1 SVTH11MQ2 SVTH11MQ3 SVTH12MQ1 SVTH12MQ2 SVTH12MQ3 SVTL01MQ1 SVTL01MQ2 SVTL01MQ3 SVTL11MQ1 SVTL11MQ2 SVTL11MQ3 SVTM01MQ1 SVTM01MQ2 SVTM01MQ3 SVTM11MQ1 SVTM11MQ2 SVTM11MQ3 SVTH01AQ1 SVTH01AQ2 SVTH02AQ1 SVTH02AQ2 SVTH11AQ1 SVTH11AQ2 SVTH12AQ1 SVTH12AQ2 SVTL01AQ1 SVTL01AQ2 SVTL11AQ1 SVTL11AQ2 SVTM01AQ1 SVTM01AQ2 SVTM11AQ1 SVTM11AQ2 SVTH01PQ1 SVTH01PQ2 SVTH02PQ1 SVTH02PQ2 SVTH11PQ1 SVTH11PQ2 SVTH12PQ1 SVTH12PQ2 SVTL01PQ1 SVTL01PQ2 SVTL11PQ1 SVTL11PQ2 SVTM01PQ1 SVTM01PQ2 SVTM11PQ1 SVTM11PQ2 SVTH01FQ1 SVTH01FQ2 SVTH02FQ1 SVTH02FQ2 SVTH11FQ1 SVTH11FQ2 SVTH12FQ1 SVTH12FQ2 SVTL01FQ1 SVTL01FQ2 SVTL11FQ1 SVTL11FQ2 SVTM01FQ1 SVTM01FQ2 SVTM11FQ1 SVTM11FQ2 SVTH01GQ1 SVTH01GQ2 SVTH02GQ1 SVTH02GQ2 SVTH11GQ1 SVTH11GQ2 SVTH12GQ1 SVTH12GQ2 SVTL01GQ1 SVTL01GQ2 SVTL11GQ1 SVTL11GQ2 SVTM01GQ1 SVTM01GQ2 SVTM11GQ1 SVTM11GQ2