品牌:Parker Hannifin (派克汉尼汾)
系列:VacuSeal™ (超高纯面密封接头)
完整型号:4-GVGR-SSLP
连接尺寸:1/4 英寸
配置类型:带固持槽型 (Retained Grooved Style)
主体材质:316/316L 不锈钢
涂层说明:SSLP (Less Silver Plating / Unplated)
泄漏率:经氦质谱检漏,优于
atm.cc/sec
工作温度:最高可达
压力额定值:最高可达 9000 psi (约 620 bar)
重量信息:单件约为 0.005 - 0.01 kg (具体视包装件数而定)
在半导体制造、光伏产业及高纯气体输送系统中,系统的完整性与洁净度是决定工艺良率的关键因素。Parker Hannifin(派克汉尼汾)推出的 VacuSeal 系列面密封接头及配件,正是针对这些严苛环境而设计的行业标杆产品。型号为 4-GVGR-SSLP 的金属垫片是该系列中极具代表性的核心组件,专为 1/4 英寸 VCR 类型的接口提供可靠的超高纯密封保障。
核心性能与技术优势:
该垫片展现了极高的气密性。4-GVGR-SSLP 垫片采用独特的交配环面设计。当接头螺母旋紧时,垫片在两个微精加工的环面(Toroid)之间发生塑性变形,形成金属对金属的强制密封。所有 VacuSeal 产品均经过严格的氦质谱测试,泄漏率控制在极低水平,能够有效防止大气杂质渗入系统或高危气体外泄。
材料与洁净度方面:
该垫片由优质 316L 不锈钢制成,具有优异的耐腐蚀性和材料稳定性。后缀 SSLP 表示该型号为非镀银或减薄镀层设计。在某些对银离子敏感或特定的半导体工艺中,这种配置能显著减少金属颗粒产生,确保流道的绝对洁净,避免工艺污染。
稳固的结构设计:
作为带固持槽型垫片,它设计有专门的固持机构,能够牢固地卡在接头内,极大地方便了垂直安装或狭窄空间内的组装操作,避免了垫片滑脱导致的密封面受损,提高了现场作业的效率与安全性。
行业应用及推荐:
在真空技术和高压气体分布系统中,4-GVGR-SSLP 展现了极强的适应性。它能够承受高压冲击,并能在极端温度下保持密封效能。这使得它广泛应用于晶圆加工设备的化学气相沉积(CVD)、扩散炉及气体箱(Gas Box)集成中。为了进一步提升系统可靠性,建议配套使用派克的 4-6V-SS 压盖或 4-VN-SS 螺母,以确保均匀的扭矩传递,构建完整的无泄漏流体控制链路。
4-GVGR-SS
4-GVGR-NI
4-GVGR-CU
4-GVGR-SSLP
4-GV-SS
4-GV-NI
4-GV-CU
8-GVGR-SS
8-GVGR-NI
8-GVGR-CU
2-GVGR-SS
2-GVGR-NI
2-GVGR-CU
12-GVGR-SS
16-GVGR-SS
4-VGR-SS
4-VGR-NI
4-VGR-CU
8-VGR-SS
8-VGR-NI
2-VGR-SS
2-VGR-NI
4-V-SS
4-V-NI
4-V-CU
8-V-SS
8-V-NI
2-V-SS
12-V-SS
16-V-SS
4-GVGR-SS-EP
4-GVGR-NI-EP
8-GVGR-SS-EP
4-VGR-SS-EP
4-6V-SS
4-6V-SS-L
4-6V-SS-2
4-6V-SS-3
4-6V-SS-0.5
8-12V-SS
8-12V-SS-L
2-2V-SS
16-16V-SS
4-VN-SS
8-VN-SS
2-VN-SS
12-VN-SS
16-VN-SS
4-MN-SS
8-MN-SS
2-MN-SS
4-V-SS-EP
8-V-SS-EP
2-V-SS-EP
4-G-SS
8-G-SS
2-G-SS
12-G-SS
4-P-SS
8-P-SS
2-P-SS
4-G-SS-L
8-G-SS-L
4-6V-SS-BW
8-12V-SS-BW
4-VN-SS-S
8-VN-SS-S
4-4-VHOA-SS
8-8-VHOA-SS
4-4-VLOA-SS
8-8-VLOA-SS
4-4-V6OA-SS
4-V1-SS
8-V1-SS
4-V2-SS
8-V2-SS
4-V3-SS
8-V3-SS
4-V4-SS
4-V5-SS
4-V7-SS
4-V8-SS
4-V9-SS
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4-V131-SS
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4-V134-SS
4-V135-SS