品牌：Entegris (英特格)
系列：Panelgard PSX / PS 系列
过滤孔径：0.003 μm (微米)
滤芯材质：超高分子量聚乙烯 (UPE) 或 聚四氟乙烯 (PTFE)
支撑结构材质：高纯聚丙烯 (PP) 或 不锈钢 (视具体子型号而定)
额定压力：最大 1.0 MPa (20°C 时)
最高操作温度：60°C (140°F)
密封圈材质：E-FKM (被覆氟橡胶) 或 特氟龙封装密封圈
清除效率：对于额定孔径以上的微粒清除率 >99.9999999% (9-log)
接口方式：Rc 1/8, M5, 或集成集成块式接口
重量信息：净重约 120g - 350g (根据壳体材质及连接方式有所差异)
在半导体、平板显示器以及精密电子制造的制程中，超高纯工艺气体的质量直接决定了器件的性能与可靠性。Entegris (英特格) Panelgard PSX 系列过滤器是专为解决先进制程中微粒污染问题而设计的高性能净化组件。该系列产品凭借其卓越的拦截效率、超低的压降表现以及极佳的化学兼容性，已成为全球半导体气柜 (Gas Box) 和机台点端 (Point-of-Use) 过滤的标准选择。
核心技术与性能优势
Panelgard PSX 系列采用了英特格专利的非对称过滤膜技术。其核心优势在于能够在极小的空间内提供巨大的有效过滤面积，从而在实现 0.003 微米级极致过滤的同时，保持极佳的气体通量。在半导体刻蚀、气相沉积 (CVD) 及扩散工艺中，这种高效过滤能力能确保制程气体不含任何有害微粒，有效预防因颗粒附着导致的电路缺陷，显著提升晶圆的最终良率。此外，该产品具有极低的放气性 (Outgassing)，确保了下游工艺环境的绝对纯净。
行业应用场景
此系列过滤器广泛应用于各类高纯气路分配系统。在半导体前端工艺设备中，它通常被安装在质量流量控制器 (MFC) 的上游或机台的入气口处。其坚固的结构设计使其能够适应频繁的压力波动而不产生结构性破坏。由于采用了高性能的密封材料和精密焊接技术，Panelgard PSX 即使在长期处理腐蚀性或活泼气体时，也能维持极高的密封安全性，防止剧毒或易燃气体外泄。
安装与集成优化
针对现代集成电路设备日益缩小的机箱空间，Panelgard PSX 提供了紧凑的一体化设计方案。与传统的组合式过滤器相比，PSX 系列通过减少管路连接点，不仅降低了潜在的泄漏风险，还极大地简化了气路的布局。对于需要实时监控的需求，该系列可与英特格的数显压力感测组件无缝匹配。在维护方面，由于其具备高容尘量的特性，使用寿命较普通滤芯延长了 30% 以上，显著降低了工厂的总体拥有成本 (COO)。
PSX03002R, PSX03004R, PSX03002K, PSX03004K, PSX03002M, PSX03004M, PSX03002P, PSX03004P, PSX03102R, PSX03104R, PSX03102K, PSX03104K, PSX03102M, PSX03104M, PSX03102P, PSX03104P, PSX03202R, PSX03204R, PSX03202K, PSX03204K, PSX03202M, PSX03204M, PSX03202P, PSX03204P, PSX01001R, PSX01001K, PSX01001M, PSX01001P, PSX01101R, PSX01101K, PSX01101M, PSX01101P, PSX05001R, PSX05001K, PSX05001M, PSX05001P, PSX05101R, PSX05101K, PSX05101M, PSX05101P, PGSV01P01, PGSG01P01, PGSH01P01, PGSA01P01, PGSV61P01, PGSG61P01, PGSH61P01, PGSA61P01, PGSV01P05, PGSG01P05, PGSH01P05, PGSA01P05, PGSV61P05, PGSG61P05, PGSH61P05, PGSA61P05, PGSV01P10, PGSG01P10, PGSH01P10, PGSA01P10, PGSV61P10, PGSG61P10, PGSH61P10, PGSA61P10, PGSV01P20, PGSG01P20, PGSH01P20, PGSA01P20, PGSV61P20, PGSG61P20, PGSH61P20, PGSA61P20, PGSV01P30, PGSG01P30, PGSH01P30, PGSA01P30, PGSV61P30, PGSG61P30, PGSH61P30, PGSA61P30, PSF01P01, PSFG01P01, PSFH01P01, PSFA01P01, PSF61P01, PSFG61P01, PSFH61P01, PSFA61P01, PSF01P10, PSFG01P10, PSFH01P10, PSFA01P10, PSF61P10, PSFG61P10, PSFH61P10, PSFA61P10, PSF01P20, PSFG01P20, PSFH01P20, PSFA01P20, PSF61P20, PSFG61P20, PSFH61P20, PSFA61P20, PS4001P01, PS40G01P01, PS40H01P01, PS40A01P01, PS4061P01, PS40G61P01, PS40H61P01, PS40A61P01, PS4001P10, PS40G01P10, PS40H01P10, PS40A01P10, PS4061P10, PS40G61P10, PS40H61P10, PS40A61P10, PP10010E1, PP10010T1, PP10010T6, PP10F10E1, PP10710E1, PP30010E1, PP30010T1, PP30010T6, PP30F10E1, PP30710E1, PP50010E1, PP50010T1, PP50010T6, PP50F10E1, PP50710E1, PP1H010E1, PP1H010T1, PP1H010T6, PP1HF10E1, PP1H710E1, PP2H010E1, PP3H010E1, PP4H010E1, PP03010E1, PP03F10E1, PP03710E1, PP06010E1, PP06F10E1, PP06710E1, WG65C4, WG65C8, WG115C8, WG115C12, DEF04A, DEF02A, DEF115, DEF65, DEF25, WGSF02K, WGSF04K, WGSF08K, WGSF01K, WGSF10K, WGSF16M, WGLS04S, WGLS08S, WGLS16S, WGPL04K, WGPL08K, WGPL16K, PSX30001M, PSX30101M, PSX30201M, PSX30301M, PSX30401M, PSX40001P, PSX40101P, PSX40201P, PSX40301P, PSX40401P, PSX10001R, PSX10101R, PSX10201R, PSX10301R, PSX20001K, PSX20101K, PSX20201K, PSX20301K, PGSA1P01Y, PGSA1P02Y, PGSA1N01Y, PGSA1N02Y, PGSA2P01Y, PGSA2P02Y, PGSA01P01Y, PGSA01P02Y, PGSA01N01Y, PGSA01N02Y, NT4110-F02, NT4110-F04, NT4210-F04, NT4800-F04, NT4110-P02, NT4110-P04, NT4210-P04, 4100-F01, 4100-F02, 4100-F03, 4100-F04, 4210-K01, 4210-K02, 4210-K03, 4210-K04, 4150-N01, 4150-N02, 4150-N03, 4150-M01, 4150-M02, 4150-M03