型号：PGSA2P02Y
类型：颗粒气体过滤器
过滤精度：0.003微米
最高工作温度：70°C
最大压差：50 psid
接口尺寸：1/4英寸 VCR
材质：316L不锈钢外壳，PTFE滤芯
重量：0.45 kg
认证标准：SEMI F40、ISO 9001
核心技术性能
PGSA2P02Y采用Entegris专利的超细纤维滤膜技术，专为半导体制造中的高敏感环境设计。其多层复合滤芯结构可有效拦截0.003微米级颗粒物，气体残留杂质含量低于0.1ppb，满足EUV光刻和3D NAND制造对超纯气体的严苛要求。经第三方实验室验证，在40SLPM流量下的压降仅为1.2psi，显著优于行业平均水平。
核心参数解析
过滤效率：对0.02μm颗粒的截留率>99.9999%，符合ISO 15级洁净标准
析出控制：金属离子析出量<0.01μg/m²，VOC释放量≤5ppt
耐久性：1500次压力循环测试后效率衰减<3%
适配性：兼容Ar、N₂、H₂、He等惰性及反应性气体
行业应用场景
主要应用于半导体前端制程：
光刻气路保护：防止微粒污染DUV/EUV曝光系统
CVD沉积工艺：保障反应气体纯度，提升薄膜均匀性
离子注入：过滤系统背景杂质，优化掺杂精度
生物制药：无菌灌装线的惰性气体保护
参数对比优势
| 参数 |
行业标准 |
PGSA2P02Y |
提升幅度 |
| 初始压降 |
≥2.5psi |
1.2psi |
52%↓ |
| 颗粒截留率 |
99.99% |
99.9999% |
2个数量级 |
| 使用寿命 |
6个月 |
18个月 |
200%↑ |
推荐配套方案
前置保护：PGA系列粗过滤器（建议PGA0400Y）
后级纯化：MegaGuard气体纯化器
管路系统：UltraClean VCR管路组件
维护优化建议
每季度进行压差监测，超过25psi需更换
存储温度-20℃~50℃，避免冷凝
安装时需配合氦气质谱检漏
类似型号列表
PGSA2P01Y, PGSA2P03Y, PGSA2P04Y, PGSA2P05Y, PGSA2P06Y, PGSA2P07Y, PGSA2P08Y, PGSA2P09Y, PGSA2P10Y, PGSA4P01Y, PGSA4P02Y, PGSA4P03Y, PGSA4P04Y, PGSA4P05Y, PGSA4P06Y, PGSA6P01Y, PGSA6P02Y, PGSA6P03Y, PGSA6P04Y, PGSA8P01Y, PGSA8P02Y, PGA0400Y, PGA0600Y, PGA0800Y, PGA1000Y, PGA1200Y, PGR2P02Y, PGR2P04Y, PGR2P06Y, PGR2P08Y, PGR4P02Y, PGR4P04Y, PGR4P06Y, PGR4P08Y, PGR6P02Y, PGR6P04Y, PGR6P06Y, PGR6P08Y, PMA0100Y, PMA0200Y, PMA0300Y, PMA0400Y, PMA0500Y, PMB0100Y, PMB0200Y, PMB0300Y, PMB0400Y, PMB0500Y, PMC0100Y, PMC0200Y, PMC0300Y, PMC0400Y, PMC0500Y, PMD0100Y, PMD0200Y, PMD0300Y, PMD0400Y, PMD0500Y, PHC0100Y, PHC0200Y, PHC0300Y, PHC0400Y, PHC0500Y, PHD0100Y, PHD0200Y, PHD0300Y, PHD0400Y, PHD0500Y, PHE0100Y, PHE0200Y, PHE0300Y, PHE0400Y, PHE0500Y, PKC0100Y, PKC0200Y, PKC0300Y, PKC0400Y, PKC0500Y, PKD0100Y, PKD0200Y, PKD0300Y, PKD0400Y, PKD0500Y, PKE0100Y, PKE0200Y, PKE0300Y, PKE0400Y, PKE0500Y, PLX0100Y, PLX0200Y, PLX0300Y, PLX0400Y, PLX0500Y, PMX0100Y, PMX0200Y, PMX0300Y, PMX0400Y, PMX0500Y, PNX0100Y, PNX0200Y, PNX0300Y, PNX0400Y, PNX0500Y, PPX0100Y, PPX0200Y, PPX0300Y, PPX0400Y, PPX0500Y, PQX0100Y, PQX0200Y, PQX0300Y, PQX0400Y, PQX0500Y, PRX0100Y, PRX0200Y, PRX0300Y, PRX0400Y, PRX0500Y, PSX0100Y, PSX0200Y, PSX0300Y, PSX0400Y, PSX0500Y, PTX0100Y, PTX0200Y, PTX0300Y, PTX0400Y, PTX0500Y, PUX0100Y, PUX0200Y, PUX0300Y, PUX0400Y, PUX0500Y, PVX0100Y, PVX0200Y, PVX0300Y, PVX0400Y, PVX0500Y, PWX0100Y, PWX0200Y, PWX0300Y, PWX0400Y, PWX0500Y, PYX0100Y, PYX0200Y, PYX0300Y, PYX0400Y, PYX0500Y, PZX0100Y, PZX0200Y, PZX0300Y, PZX0400Y, PZX0500Y