品牌：日本 KITZ SCT
型号：VLD4CS-VC-EP-316L
通道结构：2路直通式（2Ports-Straight）
公称通径：1/4英寸
连接类型：M-CVC（VCR公头螺纹连接）
流量系数（Cv值）：0.27
驱动方式：气动（常闭型 NC）
最大工作压力：0.98 MPa
阀体材质：316L不锈钢
阀座材质：PCTFE
表面处理：EP（电解抛光工艺）
流体温度范围：-10℃ 至 80℃
环境温度范围：-10℃ 至 60℃
产品重量：约0.35 kg（标准气动单元组件）
适用介质：超高纯度特种气体、真空、高纯蒸汽、氧气、氮气、氢气等
本款日本KITZ SCT高纯度气动隔膜阀（型号：VLD4CS-VC-EP-316L）是专为半导体制造、光伏面板生产、液晶面板以及精细化工等行业的高纯度气体传输系统设计的高端控制组件。该产品基于经典的KD系列技术平台开发，在完整继承KD系列出色的密封性能、长寿命驱动功能和高耐久性的基础上，通过优化内部零部件结构与加工工艺，实现了显著的成本降低，是目前高纯度特殊气体管路系统中极具性价比的自动化控制选择。
从核心性能来看，阀体采用了超低碳不锈钢316L材料，具备极强的抗腐蚀能力和化学稳定性，能够安全输送各种具有腐蚀性或反应性的特种气体。其阀门内部流道表面经过精密的EP（电解抛光）工艺处理，极大地降低了表面粗糙度，有效防止介质滞留和颗粒脱落，从而将气路系统中的微粒污染（Particle）控制在极低水平，完全满足现代半导体工艺对气体洁净度的苛刻要求。在阀座选材上，高品质的PCTFE（聚三氟氯乙烯）材料保证了阀门在频繁启闭状态下依然具备优异的抗蠕变性与零泄漏气密性。
在行业应用与参数设计上，该阀门采用1/4英寸的M-CVC（VCR公头）标准连接形式，能够与主流高纯管路实现无缝焊接和双卡套面密封对接，确保整体气路系统在正压或高真空工况下的高封闭性。气动执行机构采用常闭（NC）模式，在失去控制气源时阀门会自动切断，保障生产线的安全性。其最大工作压力可达0.98 MPa，Cv值稳定在0.27，不仅能提供充足的流量响应速度，还能在高频自动控制中表现出极其精准的流体切断表现。整体设计结构紧凑，重量控制在0.35 kg左右，有助于减轻集成气路板（IGS）或气体分配柜（VMB/VMP）的系统整体承重。
在同类工艺选型中，为了应对不同的安装空间与连接需求，推荐配合参考使用同系列的VLD4CS-VFC-EP-316L（1/4英寸母头螺纹连接）或手动控制版本的VLD4MS-VC-EP-316L（手动1/4公头）。这些阀门广泛应用于半导体扩散炉、PECVD、光刻机气体供应系统以及实验室超纯气体输送终端，为企业升级自动化气路、保障特殊气体纯度提供安全可靠的流体控制保障。
该型号属于KITZ SCT的VLD4/KD4系列高纯度隔膜阀家族。上述列表中展示了该系列多种规格的变体，包含不同连接方式（如VCR公头VC、母头VFC、卡套SC等）、控制类型（如气动常闭NC、手动操作MS、常开NO）以及特殊要求配置（-SE、-W、-K等）。这些阀门均采用316L不锈钢制造，设计用于半导体及高纯工业领域