品牌：美国 Entegris（英特格）
型号：GPUS700FYX04R02CA
品类：Gatekeeper GPU（Gas Purification Unit）超高纯特种气体净化器
提纯介质：氨气（NH3）/ 惰性气体/ 特种电子气体（具体视填料配置而定，标配多用于超高纯特气提纯）
出口纯度：可将杂质（H2O, O2, CO, CO2, NMHC等）降至小于 1 ppb (十亿分之一)
最大工作压力：约 19.8 MPa (2875 psi)
最大额定流量：700 slpm（标准升/分钟）
连接接口尺寸：1/4英寸 或 1/2英寸（根据出厂管路配置，标准为高纯VCR面密封接口）
外壳材质：316L不锈钢（内壁经超精细电解抛光EP处理）
过滤精度：内置高效率金属纤维过滤器，微粒去除能力达 0.003微米
工作温度范围：0℃ 至 60℃
产品重量：约 4.85 kg
主要应用：半导体MOCVD、PECVD、外延生长（Epitaxy）、LED及光伏面板制造等超高纯气路终端
美国Entegris（英特格）生产的Gatekeeper GPU系列气体净化器（具体型号：GPUS700FYX04R02CA）是专门应用于半导体制造、微电子加工、光伏太阳能电池板生产以及LED芯片外延生长等高尖端行业的气体超纯化控制组件。在现代集成电路制造工艺中，即使是十亿分之一（ppb级别）的气体杂质，也会直接导致晶圆氧化缺陷、线宽异常以及最终良率的大幅下滑。本款净化器作为气路系统的终端守护屏障，部署于气瓶柜（BSGS/GC）、气体分配阀门箱（VMB）与工艺反应腔室（Tool）之间，能够以高达700 slpm的大流量，对输送的特种工艺气体进行在线实时深度提纯。
从核心性能与工艺参数来看，GPUS700FYX04R02CA的阀体外壳以及内部流道完全采用超低碳的316L不锈钢制造。为了防止材料自身析出微量元素或吸附气体组分，其内部流道表面经过了极度苛刻的EP（电解抛光）工艺加工。这使得表面粗糙度降到微米级以下，有效杜绝了颗粒物的附着和金属离子的二次污染。其内部填充了专门研发的高活性无机基质催化剂与吸附剂填料，能够在常温、高压的工况下，高效清除特种气体中夹带的微量水分（H2O）、氧气（O2）、一氧化碳（CO）、二氧化碳（CO2）以及非甲烷烃（NMHC）等杂质。经过净化后，气体的输出纯度可以稳定达到 99.9999999% 以上，即杂质残留量小于 1 ppb。同时，该产品在纯化段后端集成了高效率的金属多孔纤维过滤核心，对 0.003 微米（3纳米）以上的微小颗粒具有极高的拦截去除率，确保输送到反应腔的气体保持高洁净度。
在行业实际部署中，700 slpm的额定流量设计使其能够轻松应对多工艺反应台并发用气、或者大产能外延炉、MOCVD设备的集中供气需求。由于其采用了特殊的无源纯化机制，整个提纯过程无需外部加热或消耗电能，不仅降低了厂房配电成本，更规避了因断电导致的气体纯度波动风险，在系统安全性和连续运行保障上表现出色。其高密封性能和坚固的外壳构造，可以安全承载高达 19.8 MPa 的工作压力。整体重量控制在 4.85 kg 左右，外形结构紧凑，非常便于垂直或水平集成到半导体厂务的气体控制机柜中。为了实现气路的快速对接并保持密封零泄漏，接口标准完全匹配半导体通用的VCR高纯面密封接头。
为了更好地配合车间内不同用气点、不同流量以及不同工艺气体的需求，推荐参考选用同属于Entegris Gatekeeper系列的其他规格产品。例如，针对小流量实验室用气环境或单台工艺机台终端，可配合选用GPUS35F、GPUS60F或GPUS100F等小流量、轻量化型号；而针对气体主母管路的大流量纯化，则可以考虑部署GPUS2500F或更高层级的净化器系统。不同型号相互组合，共同构建起从气源源头到芯片制造核心反应区的超高纯气路防护网络。
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