品牌：美国 Entegris（英特格）
型号：GPUS500FIX04R02CA
品类：Gatekeeper GPU（Gas Purification Unit）超高纯特种气体净化器
提纯介质：惰性气体（Inert Gases，如氩气 Ar、氦气 He、氮气 N2、氪气 Kr、氖气 Ne、氙气 Xe 等）
出口纯度：可将杂质（H2O, O2, CO, CO2, H2, NMHC等）降至小于 1 ppb (十亿分之一)
最大工作压力：约 19.8 MPa (2875 psi)
最大额定流量：500 slpm（标准升/分钟）
连接接口尺寸：1/4英寸（根据出厂管路配置，标准为高纯VCR面密封接口）
外壳材质：316L不锈钢（内壁经超精细电解抛光EP处理）
过滤精度：内置高效率金属纤维过滤器，微粒去除能力达 0.003微米
工作温度范围：0℃ 至 60℃
产品重量：约 4.15 kg
主要应用：半导体集成电路外延生长、晶圆代工薄膜沉积、MOCVD工艺、面板及显像管制造气体纯化系统
美国Entegris（英特格）推出的Gatekeeper GPU系列超高纯特种气体净化器（具体型号：GPUS500FIX04R02CA），是专门针对半导体芯片制造、高端微电子、光伏太阳能电池板以及LED外延工艺流体管路设计的大流量终端提纯组件。在现代亚微米级以及纳米级晶圆制造流程中，工艺气体的洁净度与纯度直接决定了电子元器件的成品率。气体中哪怕仅含有十亿分之一级别（ppb级）的微量水分、氧气、一氧化碳等杂质，也极易在硅片表面引发非故意氧化、薄膜晶格缺陷或严重的金属离子沾污。本款气态惰性介质纯化设备部署在气体分配盘、机柜或者真空腔体前端的气路中，能稳定输出超高纯气体，从而为精密半导体加工提供基础的安全流体保障。
从材料选择与核心技术参数来看，GPUS500FIX04R02CA净化器的整体外壳和内部连接金属管路全部精选高规格的超低碳316L不锈钢材料。为了避免不锈钢基底自身对工艺气体的二次吸附、解析或者析出微小金属杂质，该产品的内流道结构全部经过了极其严苛的EP（电解抛光）表面工艺处理。这大幅削减了内壁的真实物理粗糙度，有效防止了流体死区的形成与灰尘的积聚。其内部填充了专门配比研发的高活性无机金属氧化物及物理吸附剂复合材料填料，能够在不依赖任何外部加热或电力供应的前提下，常温在线清除惰性气体介质中微量的水（H2O）、氧（O2）、一氧化碳（CO）、二氧化碳（CO2）、氢气（H2）以及各类非甲烷碳氢化合物（NMHC）。其出口纯度最高能够达到 99.9999999% 的水准，使有害微量杂质的残留浓度控制在 1 ppb 以下。同时，该纯化器壳体后端集成了高效率的微孔金属多孔纤维过滤单元，对尺寸大于 0.003 微米（即 3 纳米）的固态微粒、管道磨损颗粒物具有极高的绝对拦截滤除效率。
在系统集成与行业工程实践中，500 slpm的额定气体工作流量，使本产品能够广泛适用于半导体晶圆厂中集中供气的管路主干分支，或者是需要多机台并联的大容量外延生长炉和PECVD设备供气终端。该型号采用常温自发催化与物理吸附的设计机制，杜绝了由于工厂意外断电、跳闸或温控器故障而导致的气体纯度中断或恶化现象。该产品的承压壳体物理结构稳固，最大可承受高达 19.8 MPa 的流体工作压力，能够安全适配高压气瓶柜组的直接减压输出。整体设备重量控制在 4.15 kg 左右，布局相当紧凑。为了适应半导体厂务洁净室标准的规范，其流体输入与输出端均标配1/4英寸的高纯VCR金属面密封接头，确保整个管路系统达到零泄漏的高真空漏率标准。
为了全面满足厂区内不同流体种类、不同反应阶段以及各条工艺分支管路的精细化流量匹配需求，建议配合参考同属于Entegris Gatekeeper家族的其它规格净化组件。如果需要更小流量的本地化单机台或实验室终端保护，可以选用GPUS35F、GPUS60F或GPUS100F等小流量、轻量化设计的过滤器组合；而对于需要更广通流能力的气体主干线纯化，则可以考虑在动力厂房部署GPUS700F、GPUS1000F或者GPUS2500F系列的大规模气路纯化设备。这些各具工艺侧重点的纯化模块相互衔接，共同构筑起从源头储气罐直至精密反应机台晶圆表面之间的超高纯工艺气体安全防护链条。
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