品牌：美国 Entegris（英特格）
型号：GPUS2500FIX04R02CA
品类：Gatekeeper GPU（Gas Purification Unit）超高纯特种气体净化器
提纯介质：惰性气体（Inert Gases，如氩气 Ar、氦气 He、氮气 N2、氪气 Kr、氖气 Ne、氙气 Xe 等）
出口纯度：可将杂质（H2O, O2, CO, CO2, H2, NMHC等）降至小于 1 ppb (十亿分之一)
最大工作压力：约 19.8 MPa (2875 psi)
最大额定流量：2500 slpm（标准升/分钟）
连接接口尺寸：1/2英寸（标准配置多采用大流量高纯VCR面密封接口）
外壳材质：316L不锈钢（内壁经超精细电解抛光EP处理）
过滤精度：内置高效率金属纤维过滤器，微粒去除能力达 0.003微米
工作温度范围：0℃ 至 60℃
产品重量：约 12.50 kg
主要应用：半导体厂务大流量供气系统、晶圆厂主干气路分支、大型MOCVD及外延生产车间
美国Entegris（英特格）开发的Gatekeeper GPU系列特种气体净化器（具体型号：GPUS2500FIX04R02CA），是专为半导体制造厂务端（Hook-up系统）及大流量气体主干管路设计的超高纯度提纯组件。在现代大规模集成电路、超高密度3D NAND闪存以及先进逻辑芯片的生产线中，高纯度的流体供应是维持工艺长期稳定的基础。气体中如果存在十亿分之一级别（ppb级）的微量水分、氧气等非故意杂质，就会引发薄膜缺陷、改变掺杂浓度，导致晶圆成批报废。本款纯化设备具备高达2500 slpm的宏大通流能力，通常部署在动力车间、减压阀组后端的中央供气网络中，为整条生产线的多个工艺机台同时提供在线深度净化服务。
从核心材料与结构设计来看，GPUS2500FIX04R02CA的阀体外壳与内部耐高压腔体完全精选超低碳的316L不锈钢材质制造。为了确保在高流速冲刷下材料自身不释放任何微颗粒或解析出有害金属离子，该产品的全部流道内壁均经过了极其严苛的EP（电解抛光）微量级表面处理。其内部填充了英特格自主研发的大容量高活性无机金属催化填料与复合吸附剂。该制剂能够在常温工况下自发与惰性气体（如氩气、氮气、氦气等）中所夹带的微量水分（H2O）、氧气（O2）、一氧化碳（CO）、二氧化碳（CO2）、氢气（H2）以及挥发性碳氢化合物（NMHC）发生高选择性化学反应和物理吸附。提纯后的气体出口纯度能够稳定维持在 99.9999999% 以上，将关键气态杂质浓度降至 1 ppb 以下。纯化段后端集成了高强度的不锈钢多孔金属纤维过滤模块，对尺寸大于 0.003 微米（3纳米）的机械磨损粉尘和悬浮微粒提供高效率的拦截。
在自动化控制与工业应用现场，2500 slpm的额定大流量表现使其能够轻松充当工厂主气路（Gas Pad）的中心过滤核心，满足大型化学气相沉积（CVD）、原子层沉积（ALD）以及扩散炉群组的集中连续用气。该纯化器利用了材料自身的常温催化反应机理，无须任何外部电加热套或复杂的温度控制系统，从而从根本上消除了因为突发断电、加热丝烧断或温控仪漂移导致的气体质量劣化，为工业生产提供本质安全的保护。壳体设计坚固，最大工作压力可承受 19.8 MPa。由于内部填料量极大，整体设备重量在 12.50 kg 左右。为了适应半导体洁净厂房对系统气密性的硬性指标，其进出口连接端标配高纯面密封VCR接头，实现零泄漏的高真空运行保障。
为了全面适应车间内部从大流量厂务主管线、车间分配阀箱（VMB）到特定精密工艺单机终端的阶梯式流量过滤要求，建议配套参考选用Entegris Gatekeeper系列的其他互补规格产品。例如，在气路最末端的反应腔进气口处，可以交叉配置GPUS35F、GPUS60F、GPUS100F或者中等流量的GPUS500F等轻量化气体纯化器进行本地次级强化保护。不同处理能力的提纯装置前后搭配，共同构建起从中央特气柜直至晶圆反应表面之间坚固的超高纯特种气体纯化链条。
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