- 品牌：Entegris (美国英特格)
- 系列：Wafergard III Bulk In-line Metal Gas Filters (大批量在线金属气体过滤器)
- 型号：SI2N0100B
- 接头配置：对焊接口 (Butt weld)
- 接口尺寸 (D1)：25.4 mm (1.0")
- 外径尺寸 (D2)：101.6 mm (4.0")
- 产品总长 (L1)：267 mm (10.5")
- 接头长度 (L2)：57.2 mm (2.3")
- 滤膜材质：专利烧结镍膜 (Sintered nickel membrane)
- 过滤精度：≥ 0.0015 µm (超洁净颗粒拦截技术)
- 工作压力：最大允许工作压力达 207 bar (3000 psi) @ 100°C
- 防护与耐温：适应各类半导体特种工艺气体及高温、动态压力环境
- 表面粗糙度：≤ 5 µin Ra (电抛光内壁避免颗粒滞留)
- 氦质谱检漏率：测试值达 1x10^-9 atm cc/sec
- 产品净重：5.2 kg (因全金属厚壁耐高压腔体设计)
- 包装重量：6.1 kg
美国Entegris（英特格）作为全球微电子行业污染控制与材料纯化领域的行业先驱，其推出的Wafergard® III大批量在线全金属气体过滤器系列在业内享有盛誉。本款型号为SI2N0100B（对焊接口，1.0英寸管径）的高流量金属气体过滤器，是专门为满足半导体芯片制造厂、光伏面板生产线以及大宗特气输送系统（BSGS）而研发的核心控污设备。在精密电子制造中，大宗工艺气体在输送至厂区各个工艺机台（Point of Delivery）的过程中，管道摩擦或阀门切换会不可避免地产生微小颗粒物。SI2N0100B采用100%全金属一体化焊接结构，从根本上杜绝了传统特氟龙或聚合物滤芯在高压冲刷下可能发生的介质脱落与自身释气问题，为工艺制程提供稳定、纯净的无颗粒气体保障。
该过滤器的核心性能源自Entegris专利拥有的烧结镍膜技术（Sintered Nickel Membrane）。这种先进的金属拉伸及高温烧结工艺，赋予了内部滤芯极其均匀的孔径分布以及极高的孔隙率。其卓越的过滤精度达到了惊人的0.0015微米（µm），对于超纯气体管线中更小尺度的挥发性微粒、金属碎屑能够做到极其彻底的拦截，颗粒流失率低于0.03个/升，清除效率处于全球微污染控制技术的前沿。此外，烧结镍材质本身具备极为优异的抗腐蚀能力，对于半导体行业常见的强腐蚀性、高活性工艺气体（如高纯氯气、氟化氢等酸性特气）表现出高规格的化学惰性。同时，这种全金属基材非常适合在需要高温烘烤的管线环境，或者经受瞬时动态高压冲击的特殊气柜系统中稳定工作，拥有更长的服役寿命与低免维护成本。