- 品牌：英特格 (Entegris / 前身包含 Millipore)
- 系列：Wafergard® II F Mini XL 系列
- 完整型号：WG2F02RR4
- 设备品类：全金属在线式高纯气体过滤器
- 接头规格：1/2 英寸垫片密封接口（完全兼容 VCR 密封接头规格）
- 接口形式：公头输入 / 公头输出 (Male Inlet / Outlet)
- 总长度：133.4 mm (5.25 英寸)
- 滤芯材质：烧结 316L 不锈钢过滤介质（全金属架构）
- 外壳及保持器材质：316 不锈钢
- 颗粒滤除效率：可有效去除所有直径大于 0.3 微米（µm）的颗粒物，滤除率超过 95%
- 最大压差限制：对于 1/2" 规格，P1 端为 1.7 MPa (17 bar)，P2 端为 2.9 MPa (29 bar)
- 最高工作温度：可支持高达 400°C (750°F) 环境（惰性气体工况下）
- 产品重量信息：约 0.28 kg
英特格（Entegris）推出的 Wafergard® II F Mini XL 系列高纯气体过滤器（具体型号：WG2F02RR4）是一款专为半导体制造、薄膜沉积、光伏太阳能、晶圆加工以及高尖端实验室气体管路量身定制的金属全焊接管路在线式气体净化组件。作为在半导体超高纯（UHP）气体过滤领域深耕多年的成熟技术结晶，该过滤器旨在为现代集成电路制造中错综复杂的特殊气体输送系统提供稳固的颗粒物屏障。其采用一体化紧凑型全金属结构设计，能够无缝替代并嵌入标准的气路管线中，在防止微量粉尘、机械磨损碎屑以及管道污染颗粒进入敏感且高价值的晶圆反应腔体方面发挥着至关重要的作用。
在核心性能表现上，该产品展现出了极佳的材料纯净度与严苛环境耐受力。其内部核心过滤介质由烧结 316L 不锈钢构成，外壳及保持器同样选用高规格的 316 不锈钢材质，这使得整机具有极低的金属离子释出率与优异的抗化学腐蚀性能。该过滤器能够稳定剔除气流中所有直径大于 0.3 微米的微小颗粒物，过滤效率通过了 ISO 规范认证，确保了气体经过后的高度洁净度。得益于全金属焊接的坚固工艺，WG2F02RR4 可以承受高达 400 摄氏度的高温工况（针对惰性气体环境），并且在 1/2 英寸的管道尺寸下拥有出色的耐压差表现（P1 端最大可达 1.7 MPa，P2 端最大可达 2.9 MPa），能完美胜任各种高温、高压的半导体工艺制程，如化学气相沉积（CVD）和原子层沉积（ALD）等。
在行业适用性与系统集成方面，该型号配备了 1/2 英寸的标准垫片密封接头（兼容业内通用的 VCR 金属密封接头规格），采用公头对公头（Male to Male）的连接形式，总长度为精准的 133.4 毫米。这种极具通用性的物理结构使其在设备组装和现场升级时极为便捷，能够完美适配各种半导体工艺设备的气体控制面板（Gas Box）以及物料输送管路。在实际工业部署中，除了单独使用该型号外，企业用户往往会根据气路管径、流量需求及不同的安装位，搭配同系列的 WG2F02RR2（1/4 英寸 VCR 规格）或 WG2F32PS1（3/8 英寸卡套规格）等型号一同构建完整的多级气体纯化整体解决方案，从而在源头上杜绝因颗粒物污染导致的晶圆良率下降问题。
WG2F02RR2
WG2F32PS1
WGMXMPRR4
WGMXMPSS3
WGMXMPSV3
WGLMMPRR4
WGLMMPSS4
WGLMMPSV4
WGMINIPR1
WGMINIPS1
WGMINIRR1
WGMINIRS1
WG2F02PS1
WG2F02RS1
WG2F32RR1
WGLF01RR1
WGLF01SS1
WGLF02RR1
WGLF02SS1
WGLF02VV1
WGMF01RR1
WGMF01SS1
WGMF02RR1
WGMF02SS1
WGWF01RR1
WGWF01SS1
WGWF02RR1
WGWF02SS1
WGWF32RR1
WGWF32SS1
WGWF52RR1
WGWF52SS1
WGSTMPRR4
WGSTMPSS4
WGPF01RR1
WGPF01SS1
WGPF02RR1
WGPF02SS1
WGPF32RR1
WGPF32SS1
WGPF52RR1
WGPF52SS1
WGUPF1RR1
WGUPF1SS1
WGUPF2RR1
WGUPF2SS1
WGUPF3RR1
WGUPF3SS1
WGNF01RR1
WGNF01SS1
WGNF02RR1
WGNF02SS1
WGNF32RR1
WGNF32SS1
WGNF52RR1
WGNF52SS1
WGBF01RR1
WGBF01SS1
WGBF02RR1
WGBF02SS1
WGBF32RR1
WGBF32SS1
WGBF52RR1
WGBF52SS1
WGCF01RR1
WGCF01SS1
WGCF02RR1
WGCF02SS1
WGCF32RR1
WGCF32SS1
WGCF52RR1
WGCF52SS1
WGDF01RR1
WGDF01SS1
WGDF02RR1
WGDF02SS1
WGDF32RR1
WGDF32SS1
WGDF52RR1
WGDF52SS1
WGEF01RR1
WGEF01SS1
WGEF02RR1
WGEF02SS1
WGEF32RR1
WGEF32SS1
WGEF52RR1
WGEF52SS1
WGFF01RR1
WGFF01SS1
WGFF02RR1
WGFF02SS1
WGFF32RR1
WGFF32SS1
WGFF52RR1
WGFF52SS1
WGHF01RR1
WGHF01SS1
WGHF02RR1
WGHF02SS1
WGHF32RR1
WGHF32SS1
WGHF52RR1
WGHF52SS1
WGJF01RR1
WGJF01SS1
WGJF02RR1
WGJF02SS1
WGJF32RR1
WGJF32SS1
WGJF52RR1
WGJF52SS1
WGKF01RR1
WGKF01SS1
WGKF02RR1
WGKF02SS1
WGKF32RR1
WGKF32SS1
WGKF52RR1
WGKF52SS1
WGLF32RR1
WGLF32SS1
WGLF52RR1
WGLF52SS1
WGMF32RR1
WGMF32SS1
WGMF52RR1
WGMF52SS1
WGNF12RR1
WGNF12SS1
WGPF12RR1
WGPF12SS1
WGRF01RR1
WGRF01SS1
WGRF02RR1
WGRF02SS1
WGRF32RR1
WGRF32SS1
WGRF52RR1
WGRF52SS1
WGSF01RR1
WGSF01SS1
WGSF02RR1
WGSF02SS1
WGSF32RR1
WGSF32SS1
WGSF52RR1
WGSF52SS1
WGTF01RR1
WGTF01SS1
WGTF02RR1
WGTF02SS1
WGTF32RR1
WGTF32SS1
WGTF52RR1
WGTF52SS1
WGVF01RR1
WGVF01SS1
WGVF02RR1
WGVF02SS1
WGVF32RR1
WGVF32SS1
WGVF52RR1
WGVF52SS1
WGXF01RR1
WGXF01SS1
WGXF02RR1
WGXF02SS1
WGXF32RR1
WGXF32SS1
WGXF52RR1
WGXF52SS1
WGYF01RR1
WGYF01SS1
WGYF02RR1
WGYF02SS1
WGYF32RR1
WGYF32SS1
WGYF52RR1
WGYF52SS1
WGZF01RR1
WGZF01SS1
WGZF02RR1
WGZF02SS1
WGZF32RR1
WGZF32SS1
WGZF52RR1
WGZF52SS1
CE2004VCR4
CE3004VCR4
CE4004VCR4
CE5004VCR4