品牌：美国英特格（Entegris）
产品型号：WG3D25SR2
所属系列：Chambergard™ Fast Vent / BGN 系列
产品类型：快速排气气体扩散器 / 气体过滤器（Gas Diffusers）
过滤介质：获得专利的超净烧结镍膜（Sintered Nickel Technology）
外壳材质：316L 不锈钢（316L Stainless Steel）
颗粒去除效率：可高效拦截大于 0.0015 µm（1.5纳米）的微小颗粒
法兰规格：ISO NW-25 隔板安装（Bulkhead mounting）
法兰卡箍兼容性：完全兼容标准 ISO 隔板法兰卡箍（Bulkhead clamps）
工艺接头：1/4" VCR® 兼容外螺纹金属垫片密封接头（Male gasket seal fitting）
法兰外径尺寸：35.9 mm（1.41"）
隔板安装孔径：29.8 mm（1.17"）
密封面厚度：1.9 mm（0.07"）
最大工作压力（含O型圈）：0.7 MPa（100 psi / 7 bar）
最大测试压力（含O型圈）：0.8 MPa（115 psi / 8 bar）
最高工作温度（带O型圈）：100°C（212°F）
最高工作温度（不带O型圈）：400°C（752°F）
额定操作寿命：可承受至少 100,000 次压力循环
制造环境级别：10级/100级超净室（Cleanroom）制造、测试与无菌包装
标准物理重量：约 0.28 kg（0.62 lbs）
美国Entegris WG3D25SR2是一款专为半导体、平板显示器（FPD）以及高端数据存储设备制造制程设计的Chambergard™系列超高纯快速排气气体扩散器。在高度复杂的集成电路晶圆片加工流程中，各种真空反应腔体（如负载锁定室 Load Lock、冷却室 Cooling Chamber、传输室 Transfer Chamber 和各类气相沉积工艺腔体 Process Chamber）需要频繁地在真空状态与常压大气环境之间进行切换。WG3D25SR2的核心职能便是在腔体充气破真空（Vent）阶段，对注入的高纯惰性气体进行物理扩散与极微颗粒过滤，从而在保护高价值晶圆免受气流紊乱和微尘污染的同时，大幅缩减设备的排气等待时间。
从材料学与核心结构来看，该产品集成了英特格引以为傲且获得国际专利的烧结镍（Sintered Nickel）技术。与传统的金属网格或聚合物薄膜相比，烧结镍过滤介质在提供超高通量和低压力降的同时，具有无与伦比的孔隙均匀度以及极强的机械刚性。这种独特的网状海绵结构能够瞬间将高压注入的集中气流转化为轻柔、均匀、呈辐射状发散的弱流，避免了由于气流速度过快而在反应腔内部激起既有的残留微粒（即紊流扬尘现象）。该扩散器对直径大于0.0015微米（1.5纳米）的任何微小杂质颗粒均具备近乎完美的拦截清除能力，从源头上斩断了气体输送管路中潜在的二次污染风险，最大程度地遏制了晶圆表面的物理缺陷率。
在行业应用与工艺优化方面，Entegris WG3D25SR2展现出了极高的综合设备效率（OEE）改善能力。其物理结构的一端配备了标准的ISO NW-25隔板法兰接口，能够利用标准的真空卡箍极为严密、便捷地锚定在设备的腔体壁板上；另一端则采用业界通用的1/4英寸VCR金属面密封外螺纹接头，确保了与厂务特气系统（GDS）或机台内部气路面板的零泄漏无缝驳接。该型号在不安装密封圈的纯金属硬密封工况下，最高可耐受达400摄氏度的极端高温，这使得其在需要高热烘烤脱气的沉积类工艺中表现极佳。同时，高达十万次的超长设计循环寿命，极大地拉长了机台的日常维护周期。
在晶圆厂和高端工艺线进行设备原厂升级（Retrofit）或产能扩建时，WG3D25SR2往往是工艺工程师的首选替代和标准化配置。由于其完全在先进制程级超净室中组装并经过严格的真空除气与完整性测试，用户在现场拆封安装后无需经历冗长的管路吹扫与干燥时间（Drydown Time），即可快速让设备投产。针对不同晶圆尺寸下的腔体容积差异，工程师通常会将本款NW-25法兰扩散器与更大规格的NW-40或NW-100（如WG3D401R2）进行匹配调整，以求在气流扩散速度与防粒子扰动之间达到最佳平衡点。通过这种科学的微污染控制手段，不仅能够显著提高单台机台的时产率（Throughput），更为纳米级先进晶圆代工线的良率稳步提升构筑了坚实的流体防护屏障。
WG3D16TR2 WG3D228R2 WG3D25LR2 WG3D350R2 WG3D35BW2 WG3D3LBW2 WG3D401R2 WG3D40DR2 WG3D50BW2 WG3D50LR2 WG3D75BW2 WG3D75LR2 WG3D100BR2 WG3D100LR2 WG3D150BR2 WG3D150LR2 WG2SS3RR2 WG2SS4RR2 WG2SS8RR2 WG2SS2RR2 WG2NI3RR2 WG2NI4RR2 WG2NI8RR2 WG2NI2RR2 WG3NS3RF2 WG3NS4RF2 WG3NS8RF2 WG3NS2RF2 WG3NN3RF2 WG3NN4RF2 WG3NN8RF2 WG3NN2RF2 WGPM0GGG2 WGPM0GGT2 WGPM0GGT4 WGPM0GGT8 WGPM0GGV2 WGPM0GGV4 WGFG01K01 WGFG01KL0 WGFG01KL5 WGFG02PR1 WGFGT1PR1 WGFGMBRR4 WGMXMBRR4 WGFG01K11 WGFG01K21 WGFG02PR2 WGFGT1PR2 WGFGMBRR2 WGMXMBRR2 PN2H010E1 PN2H020E1 PN2H030E1 PN2H050E1 PN2H100E1 YY260103P YY260104P YY260105P YY561120F CTFG01TPE PFFZ15P8P WTFF01K01 WTFF01KL0 WTFF01KL5 WTFF02PR1 WTFFT1PR1 WTFFMBRR4 WMFG01K01 WMFG01KL0 WMFG01KL5 WMFG02PR1 WMFGT1PR1 WMFGMBRR4 XLFF01K01 XLFF01KL0 XLFF01KL5 XLFF02PR1 XLFFT1PR1 XLFFMBRR4 LGFP01K01 LGFP01KL0 LGFP01KL5 LGFP02PR1 LGFPT1PR1 LGFPMBRR4 SMFG01K01 SMFG01KL0 SMFG01KL5 SMFG02PR1 SMFGT1PR1 SMFGMBRR4 CEFG01K01 CEFG01KL0 CEFG01KL5 CEFG02PR1 CEFGT1PR1 CEFGMBRR4 CHFG01K01 CHFG01KL0 CHFG01KL5 CHFG02PR1 CHFGT1PR1 CHFGMBRR4 VFFG01K01 VFFG01KL0 VFFG01KL5 VFFG02PR1 VFFGT1PR1 VFFGMBRR4 MCFF01K01 MCFF01KL0 MCFF01KL5 MCFF02PR1 MCFFT1PR1 MCFFMBRR4 NCFF01K01 NCFF01KL0 NCFF01KL5 NCFF02PR1 NCFFT1PR1 NCFFMBRR4 PCFF01K01 PCFF01KL0 PCFF01KL5 PCFF02PR1 PCFFT1PR1 PCFFMBRR4 BCFF01K01 BCFF01KL0 BCFF01KL5 BCFF02PR1 BCFFT1PR1 BCFFMBRR4 TCFF01K01 TCFF01KL0 TCFF01KL5 TCFF02PR1 TCFFT1PR1 TCFFMBRR4 KCFF01K01 KCFF01KL0 KCFF01KL5 KCFF02PR1 KCFFT1PR1 KCFFMBRR4 HCFF01K01 HCFF01KL0 HCFF01KL5 HCFF02PR1 HCFFT1PR1 HCFFMBRR4 JCFF01K01 JCFF01KL0 JCFF01KL5 JCFF02PR1 JCFFT1PR1 JCFFMBRR4 UCFF01K01 UCFF01KL0 UCFF01KL5 UCFF02PR1 UCFFT1PR1 UCFFMBRR4 CCFF01K01 CCFF01KL0 CCFF01KL5 CCFF02PR1 CCFFT1PR1 CCFFMBRR4 SCFF01K01 SCFF01KL0 SCFF01KL5 SCFF02PR1 SCFFT1PR1 SCFFMBRR4 RCFF01K01 RCFF01KL0 RCFF01KL5 RCFF02PR1 RCFFT1PR1 RCFFMBRR4