品牌：Entegris（英特格）
型号：WG2F15HJJ6
产品系列：Wafergard II F-1500
接头尺寸：3/4" 对焊管（Butt weld tube）
总长度：295.0 mm（11.60"）
滤膜材质：高纯聚四氟乙烯（PTFE）膜
壳体材质：316L不锈钢（内壁经0.25 µm Ra电解抛光）
颗粒截留率：在额定流量下可去除大颗粒，截留率大于99.9999999%（9 LRV）
最高工作温度：120°C（248°F）
额定流量：1500 slpm
产品重量：约1.85 kg
Entegris英特格在线气体过滤器是高纯气体系统过滤的核心组件，在超纯气输送与分配中发挥着重要作用。在半导体、微电子以及高精尖光电制造行业中，制程气体的洁净度直接决定了晶圆的良品率和最终器件的可靠性。随着制程节点的不断缩小，对于气体中微小颗粒物的控制要求已经达到了近乎严苛的地步。本款产品作为Wafergard II F-1500系列中的典型代表，依托其优异的结构设计与材质选择，能够满足大规模超纯气体分配系统（如大宗气体机房、阀门箱及主管道等）在复杂和苛刻工艺环境下的长时间平稳运行，同时与各类高腐蚀性、高活性和惰性气体表现出极佳的相容性。
在产品性能方面，该气体过滤器采用了先进的聚四氟乙烯（PTFE）滤膜。这种复合结构的特种PTFE滤膜不仅具有致密而均匀的孔隙结构，能够在高气流量通过时维持较低的压力降，大幅减少因压差过大导致低蒸气压气体发生冷凝的风险。壳体部分则选用高规格的316L不锈钢材料，其内部表面经过了严格的电解抛光工艺处理，粗糙度可控制在0.25微米以内。这种镜面级别的内壁处理能有效减少表面死角与颗粒滞留，极大地降低了金属材质本身的释气性以及微量杂质的溶出。此外，该产品在出厂前均在百级洁净室环境中完成真空烘烤，并采用双层高洁净真空袋进行密封包装，确保用户开箱即用，避免了二次污染的发生。
从整个半导体行业的配套选型来看，高流量在线过滤器通常需要兼顾大流量与长寿命。在气体分配面板或气体大宗系统（BSGS）中，过滤器不仅要承受频繁的系统压力波动，还需在连续的高负荷通气下保持结构完整。通过精密的焊接工艺，该产品的外部壳体被一体化密封，使整体结构具备极强的耐压和抗动态冲击能力。在同类工艺方案中，推荐用户在不同的管路节点搭配不同的规格型号。例如，在进气支路或流量要求相对稍小的位置，可以配套使用同系列1/2英寸规格的对焊管过滤器或带垫圈密封（如VCR接头）的型号，从而在保证整线纯净度的前提下，实现灵活、经济的模块化管路配置。
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