参数名称：具体参数设定值
制造商：美国 Entegris (应特格)
产品系列：Linegard MAX-FP 系列
产品型号：LGMXFPRR4
过滤精度：0.0015 微米 (µm) / 1.5 纳米 (nm)
滤膜材质：聚四氟乙烯 (PTFE)
外壳材质：不锈钢 (Stainless Steel)
接口规格：1/2 英寸面密封接头 (1/2" Male VCR 兼容)
最大流量：可达 1000 slpm (标准升/分钟)
产品特性：低压降、大直径滤芯设计、高流速
适用介质：压缩空气及高纯惰性气体 (Inert Gases)
应用领域：半导体制造、中等流量气路控制、非关键性工艺气路
总轴长度：127.0 毫米 (5.00 英寸)
基础物理重量：约 0.41 公斤 (0.90 磅)
Entegris Linegard MAX-FP 高纯气体过滤器 LGMXFPRR4 作为微电子与半导体制造、精密光电仪器以及特殊气体输送行业中关键的管路净化组件，其核心功能是为中等流量气路系统提供极高等级的颗粒物屏障。该过滤器在硬件架构上采用了坚固且耐腐蚀的超净不锈钢外壳，内部则配置了大直径的超细聚四氟乙烯膜滤芯。这种大直径结构设计在实际应用中带来了显著的工业技术优势，它不仅能够使气体在通过时获得极大的有效过滤面积，从而将系统工作压降降到极低水平，还能够轻松支持高达标准状态下每分钟一千升的大流量气体平稳通过，非常适合部署在对气流动力学要求严苛的高速气路面板和二次配气系统当中。
从过滤精度与工艺适应性来看，LGMXFPRR4 具备高达零点零零一五微米的超强粒子拦截能力，能够有效滤除气体中夹带的微小悬浮颗粒、管道氧化物锈屑以及机械磨损杂质。这使其在不间断运行的工业气体供应网络中，展现出了优异的洁净度和稳定性。在接口设计方面，本款型号配备了半导体行业标准的一分之二英寸阳性面密封接头，其优异的密封结构能够提供极佳的防泄漏安全保障。无论是在晶圆制造厂的特气柜配气盘中，还是在尖端实验室的惰性气体保护管路里，这种标准化的硬件尺寸都能让用户在不改变既有气路面板整体物理结构的前提下，实现极其平稳快捷的原位模块化替换与升级安装。
此外，该过滤器针对压缩空气以及氮气、氩气、氦气等高纯惰性气体进行了深度的流体兼容性优化，滤膜本身的高化学惰性确保了在长期气流冲刷下不会产生介质解析、纤维脱落或二次污染等安全隐患。在热工与微电子厂房的实际维护过程中，由于该过滤器拥有极高的容尘量和机械耐久性，其不仅可以作为高灵敏度终端精密仪器的前置安全屏障，也极为适合作为中流量非关键性工艺气路的集中净化核心。其整体设计在确保卓越过滤效率的同时，大幅度兼顾了用户的综合运营成本，使半导体厂务工程师能够有效延长下游高价值精密气动元件、质量流量控制器以及传感器件的实际工作寿命，从而降低因气路污染引起的设备非计划性停机风险，是各工业领域气路纯化环节中深受欢迎的标准化硬核组件。
LGMXFPBB2
LGMXFPRR2
LGMXFPRR4
LGMXFPSS2
LGMXFPSS2L
LGMXFPSS3
LGMXFPSS3L
LGMXFPSS4
WG2FMR22B
WG2FMR22I
WG2FMR44B
WG2FMR44I
WG2FMS22B
WG2FMS22I
WG2FMS44B
WG2FMS44I
WG2FMS66B
WG2FMS66I
WGFMR22B
WGFMR22I
WGFMR44B
WGFMR44I
WGFMS22B
WGFMS22I
WGFMS44B
WGFMS44I
WGFMS66B
WGFMS66I
WGLG44B
WGLG44I
WGMR22B
WGMR22I
WGMR44B
WGMR44I
WGMS22B
WGMS22I
WGMS44B
WGMS44I
WGMS66B
WGMS66I
SGLG44B
SGLG44I
SGMR22B
SGMR22I
SGMR44B
SGMR44I
SGMS22B
SGMS22I
SGMS44B
SGMS44I
SGMS66B
SGMS66I
SGFMR22B
SGFMR22I
SGFMR44B
SGFMR44I
SGFMS22B
SGFMS22I
SGFMS44B
SGFMS44I
SGFMS66B
SGFMS66I
CHG1FMR21B
CHG1FMR21I
CHG1FMS21B
CHG1FMS21I
CHG1MR21B
CHG1MR21I
CHG1MS21B
CHG1MS21I
SGM11B
SGM11I
SGM22B
SGM22I
SGM33B
SGM33I
SGM44B
SGM44I
SGM66B
SGM66I
SGMF11B
SGMF11I
SGMF22B
SGMF22I
SGMF33B
SGMF33I
SGMF44B
SGMF44I
SGMF66B
SGMF66I
WGM11B
WGM11I
WGM22B
WGM22I
WGM33B
WGM33I
WGM44B
WGM44I
WGM66B
WGM66I
WGMF11B
WGMF11I
WGMF22B
WGMF22I
WGMF33B
WGMF33I
WGMF44B
WGMF44I
WGMF66B
WGMF66I