品牌:富士金(Fujikin)
型号:NFPR-ND-71-6.35-2
产品类型:气动截止型金属隔膜阀(常闭型)
通径尺寸:6.35mm (1/4" OD)
流量系数(Cv值):0.3
主体材质:不锈钢 SUS316L(双熔炼高纯材质)
阀座材质:PCTFE(聚三氟氯乙烯,标准配置)
端部连接方式:金属垫片密封连接(双端内螺纹 UJR 型)
最大工作压力:1.0 MPa
工作温度范围:-10℃ 至 80℃(在0.89 MPa下最高可达100℃,具体取决于系统选配)
泄漏率测试:全量进行氦气检漏测试(Helium Leak Tested)
洁净度等级:完全无油空净处理(Completely Oil Free)
适用介质:特种材料气体(高纯/特气)、高真空系统
重量信息:约 0.35 kg(标准气动执行机构及本体总重)
富士金(Fujikin)作为全球半导体、光电子及超高纯流体控制领域的标杆企业,其研发的 NEW MEGA 系列气动截止型金属隔膜阀在行业内享有盛誉。本次推荐的 NFPR-ND-71-6.35-2 型号,是一款专为特殊工艺气体、超高纯净度气体及高真空流体控制系统量身打造的高端气动金属隔膜阀。该产品凭借其严苛的制造工艺和卓越的物理特性,在半导体制造、微电子、精密化工、公共实验室、新能源、生物医药以及生命科学等高精尖行业中得到了极其广泛的应用。
从物理性能与材料选择来看,NFPR-ND-71-6.35-2 在结构设计上实现了流道的极致优化。其主体核心部件采用超高纯度的双熔炼 SUS316L 不锈钢材质。这种材料具备极强的抗腐蚀性与耐磨损性,能够有效抵抗各种高腐蚀性特种气体的侵蚀,从源头上杜绝了金属离子对工艺介质的污染。阀座部分则采用了高密度的 PCTFE 材质,不仅保证了阀门在频繁启闭交变应力下的优异耐磨性,更提供了零泄漏的严密软密封效果。阀门整体内部经过了完全无油(Completely Oil Free)的洁净处理,可完全满足特气系统对颗粒控制和微量杂质控制的严苛指标。
从技术参数与应用场景分析,该阀门的通径规格为标准的 6.35mm(即 1/4 英寸 OD 管道),拥有高达 0.3 的流量系数(Cv 值),在同等规格的微型气动隔膜阀中具有优异的流通能力。其额定最大工作压力为 1.0 MPa,工作温度跨度为 -10℃ 至 80℃。在实际极端工况下,根据官方压力温度曲线图表,系统在 100℃ 时仍可稳定维持 0.89 MPa 的耐压表现。连接端部采用了双端内螺纹的金属垫片密封(Female UJR)形式,这种高可靠性的面密封连接方式能够确保管道系统在超高真空或高压气体交替运行的环境下依旧保持长效紧密,防止外界空气渗入或内部有害特气外泄。每一台出厂的阀门均经过极其严苛的氦气质谱检漏仪测试,确保整体外部泄漏率与阀座泄漏率均达到超高标准。
在行业集成应用与同类替代方面,富士金的 ND-71 系列凭借气动常闭(Normally Closed)的高安全系数构造,在自动化控制网络中常作为紧急切断阀或精密配气阀使用。其气动执行机构反应迅捷、动作平稳,机械寿命长达数百万次,大幅降低了晶圆厂和特气盘(VMB/Gas Box)的整体维护成本。为了满足不同管路设计及特殊介质的控制需求,该系列还衍生出了多种不同接口、规格以及阀座配置的类似型号。
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